Polovodičová nerezová ocel: 316L VIM-VAR vs. 904L

 

Proč vakuové roztavení 316L pro nástroje oplatky?
Vim-var (vakuová indukce roztavená vakuum oblouk přemístěn) snižuje inkluze na<5 particles/cm² >0. 3 μm. Obsah plynu (O₂<30ppm, N₂ <150ppm) prevents micro-outgassing in vacuum chambers. Surface roughness Ra ≤0.05μm achievable.

 

Kdy je 904L specifikováno pro mokré lavičky?
904L resists HF/HNO₃ acid mixtures during wafer etching. Copper addition (1-2%) improves sulfuric acid resistance. PREN >35 zabraňuje korozi v ultrapurové vodě (18 MΩ · cm odpor).

 

Jak povrchové úpravy zabraňují kontaminaci?
Elektropolishing odstraní 10-15 μm, která je zdobená vrstva. Laserový šokový peening indukuje stresový stres, aby se snížila migrace iontů. Natášení vodíku snižuje povrchovou energii, aby se omezila adheze částic.

 

Kritické tolerance pro systémy dodávání plynu?
Vnitřní povrch RA menší nebo rovný 0. 13 μm. Míra úniku<1×10⁻⁹ mbar·L/s helium. Outgassing rate <5×10⁻¹¹ torr·L/s·cm². Particulate count: ≤5 particles >0. 1μm na lineární nohu.

 

Testování validace pro komponenty čisté místnosti?
SEM-EDS analýza pro mapování inkluze. ICP-MS pro vyluhování kovových iontů (Na⁺<50ppb, Fe⁺⁺ <10ppb). Vapor phase decomposition for surface metallic contamination.